Profil des Spezialisierungsfachs
Die Mikrosystemtechnik befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung miniaturisierter Systeme, bei denen z.B. mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen kombiniert werden. Dabei greift die Mikrosystemtechnik auf die Verfahren der Mikrotechnik zurück, die zur Realisierung von Strukturen im Mikrometerbereich eingesetzt werden. Anwendungen der Mikrosystemtechnik im Bereich der Medizintechnik reichen von intelligenten Implantaten bis hin zu Mikroanalysesystemen auf Basis der Mikrofluidik.
Funktionsmuster für mikrofluidische Anwendungen
Verantwortlicher des Spezialisierungsfachs
André Zimmermann
Univ.-Prof. Dr.-Ing.Direktor des Instituts